歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709
G-25D型高精密單面光刻機(LED)

簡介—— 一、 主要用途: 本設備是我公司專門針對各大專院校、企業及科研單位對光刻機的使用特性研發的一種精密光刻機,它 主要用于中

聯系電話:1390818770913908187709

詳情内容/ Content details

手機掃一掃

一、 主要用途:

本設備是我公司專門針對各大專院校、企業及科研單位對光刻機的使用特性研發的一種精密光刻機,它 主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、光電子器件、聲表面波器件的研制和生産。

二、 主要性能指标

1、曝光類型:單面;

2、曝光面積:150×150mm

3、曝光照度不均勻性:≤±3%

4、曝光強度:≤30mw/cm2可調;

5、紫外光束角:≤3˚;

6、紫外光中心波長:365nm

7、紫外光源壽命:≥2萬小時;

8、采用電子快門;

9、曝光分辨率:1μm

10、曝光模式:可選擇一次曝光或套刻曝光;

11、對準範圍:XY 調節 ±4mmQ向調節±3°;

12、套刻精度:1μm

13、分離量;050μm可調;

14、曝光方式:密着曝光,可實現硬接觸、軟接觸和微力接觸曝光;

15、找平方式:氣浮找平;

16、顯微系統:雙視場CCD系統,顯微鏡91X570X連續變倍(物鏡1.6X10X連續變倍),雙物鏡距離可調範圍50mm120mm,計算機圖像處理系統,19″液晶監視器;

17、掩模版尺寸:152×152mm

18、基片尺寸: 110×110mm;

19、基片厚度:≤5 mm

20、曝光定時:0999.9秒可調;

21、電源:單相AC220V  50HZ ,功耗≤1KW

22、潔淨空氣壓力:≥0.4MPa

23、真空度:-0.07MPa~-0.09MPa

24設備所需能源:

主機電源: 220V±10%   50HZ,1KW。

潔淨空氣≥0.4MPα。

真空:-0.07~-0.08MPα。

25.G-25D型高精密光刻機的組成:

LED紫外曝光頭、CCD顯微顯示系統、對準工作台、電氣控制系統構成。


更多關于四川光刻機的信息可以直接撥打網站上的咨詢電話和我們取得聯系。

在線留言

message
掃一掃更精彩掃一掃更精彩
  • 聯系人:劉經理
  • 聯系電話:13908187709
  • 座機:028-85730589
  • 400電話:13908187709
  • 郵箱:15390063681@qq.com
  • 地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36号(3座)
在線客服

如果您對此産品感興趣! 請直接聯系成都鑫南光機械設備有限公司!

相關推薦

HOT RECOMMEND

快速通道 Express Lane

項目直通車:
 
光刻機
 
真空鍍膜機
 
真空爐(氫氣爐)